中国が独自のリソグラフィ装置開発を加速しているが、DUV装置の生産能力やEUVプロトタイプの完成度には依然として疑問符がつく。技術的な真価が問われている。
中国のチップ製造装置開発：現状と現実味
Chinese chipmaking tool roadmaps examined — Beijing's nascent lithography tools target DUV production at five machines a year, and an EUV prototype with no chips
編集メモ: 中国がリソグラフィ装置の国産化を加速させていますが、技術的な完成度には依然課題があるため、半導体関連のビジネスでは慎重な技術評価と中長期的な展望が必要です。
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