半導体露光装置メーカーのギガフォトンが、ネオンガスの回収率50%を謳う新システムを発表しました。DUVリソグラフィで多用されるネオンの供給不安を軽減する試みですが、次世代技術への移行に伴い、この解決策は一時的な需要に応えるものとなる可能性があります。