NTTがAIとロボットを活用し、β型酸化ガリウム薄膜の成長条件を自律最適化する実証に成功。従来比約3倍の速度で成膜し、物理ルールを抽出しました。
NTT、AIとロボットで半導体成膜の実験サイクルを約3倍に高速化 酸化ガリウムの単結晶薄膜作製に成功
編集メモ: NTTによるAIとロボットを活用した半導体成膜の高速化事例は、マテリアルズ・インフォマティクスを応用し、研究開発のサイクルを劇的に加速させる新たな成功モデルです。
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